硅片甩干机用于清洗太阳能硅片和半导体硅片，是湿法清洗工艺的主要设备，目前主要机型由四工位，六工位和八工位系列。主要工作过程为喷淋旋转冲洗+离心甩干+氮气加热烘干，工作特点如下：
1、硅片甩干机整个甩干过程一般只需要5-6分钟；
2、设备的外露面为进口的PP板，外形美观，耐酸气腐蚀；
3、工作腔，旋转支架和装片盒等主要部件采用耐腐蚀不锈钢，并且表面电化学抛光处理；
4、旋转机构经过精密动平衡处理，保证工作时的平衡性；
5、采用特种减震器，精密减震和阻尼，保证系统的稳定；
6、硅片甩干机采用洁净化处理技术，阀门，接头和管道采用不锈钢，PEA高纯管件和聚四氟；
7、采用油压缸自动开门关门，平稳安全可靠；
8、采用油浴炉或气体加热器加热氮气，热量足，温度稳定，加热温度实时监控，并显示在液晶屏上，并有双重安全?；?；
9、特制喷头和气液流体控制系统，全自动切换；
10、顶盖采用电加热板辅助加热，保证顶盖烘干后不滴水；
11、硅片甩干机的工作腔采用静电控制。
更新时间：2016-08-18
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