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湿法腐蚀清洗系统

产品简介
湿法腐蚀清洗系统广泛应用于Ic、MEMS、LED、PV、电力电子、半导体材料等行业
标准配置：高纯进口板材

产品型号：

更新时间：2021-06-10

浏览次数：3095

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产品分类

PRODUCT CLASSIFICATION

半导体电子设备

全自动硅片（晶片）超声波清洗机硅片甩干机单槽分体式超声波清洗机四槽半自动超声波清洗机半自动超声波清洗机全自动陶瓷盘超声波清洗机硅片扩散超声波清洗机 MESA/SC晶片清洗设备晶片腐蚀清洗机外延片（硅片）腐蚀清洗机立式旋转冲洗甩干机湿法腐蚀清洗系统硅材料清洗旋转冲洗甩干机

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详细介绍在线留言

主要特点：

成熟的?？榛ひ兆楹?/p>

可面向用户工艺需要，定制化设计

已应用于20nm级别IC工艺线

针对LED生产线，提高整体解决方案

全自动清洗/手动清洗可选

整机防漏液设计

广泛应用于Ic、MEMS、LED、PV、电力电子、半导体材料等行业

标准配置：

高纯进口板材

高结晶工艺管道

高洁净气动阀门

防腐机械手

伺服电机驱动

人机对话界面，触摸屏操作

标准工艺?？?/p>

SC-I溶液腐蚀槽

SC-II溶液腐蚀槽

SC-III溶液腐蚀槽

QDR槽

循环清洗槽

超声/兆声清洗槽

可选?？椋?/p>

鼓氮

水溶超声/水浴兆声槽

槽内加热/制冷循环

漏液检测

水阻检测

自动供液系统

自动配液系统

自动灭火系统（有机清洗）

ESD功能（有机清洗）

MES接口（可?。?/p>

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