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产品简介
全自动硅片甩干机LCS系列立式旋转冲洗甩干机本机是主要应用于太阳能电池和半导体硅片等的冲洗甩干工艺环节，具有容量大、效率高的特点。
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全自动硅片甩干机是一种专门用于半导体制造过程中的高精密设备，主要用于清洗和干燥硅片。这种设备通过自动化的流程，能够高效地去除硅片表面的水分和其他残留物，确保硅片的清洁度和干燥度，从而满足后续工艺的要求。
主要特点：
1.彩色液晶触摸屏实时监控，可存储多种工艺菜单
2.腔体和转架采用316不锈钢，电化学抛光处理
3.去离子水电阻率监控功能
4.无刷电机驱动
5.氮气温度控制
6.转轴氮气密封
7.具有锁盖防护功能
8.故障诊断、显示、报警功能
9.可提用户特殊要求配置
全自动硅片甩干机采用高洁净度的旋转冲洗甩干功能，能够适应不同直径和形状的片式材料的清洗需求。设备设计可以适应不同直径的硅片，包括方形和其他特殊形状的材料。
设备采用全自动控制，包括去离子水冲洗和加热的氮气干燥，实现晶片衬底后的湿化学方法的自动化处理。具备多项技术性能指标，如电源电压、频率、功率、绝缘电阻等，确保操作的安全性和稳定性
包括使用氮气和去离子水的相关安全性技术要求，如压力、耗量、接口管径和过滤精度等部分设备采用PLC和触摸屏控制，实现整个过程的智能化，具有故障实时显示和报警功能。设备设计考虑了节能和效率，如整个甩干过程一般只需5-6分钟。主要部件采用耐腐蚀不锈钢，并进行电化学抛光处理，以提高设备的耐用性和清洁度。旋转机构经过精密动平衡处理，保证工作时的平衡性，并采用特种减振器以实现精密减振和阻尼。
设备支持多种硅片规格、不同尺寸的掩模，满足不同应用需求。
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